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能谱仪(eds，energy dispersive spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。
原理
各种元素具有自己的x射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△e，能谱仪就是利用不同元素x射线光子特征能量不同这一 特点来进行成分分析的。
能谱仪是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。各种元素具有自己的x射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△e，能谱仪就是利用不同元素x射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。
一般为si(li)锂硅半导体探头，全自动石材放射性检测仪价格， 探测面积为几平方毫米，当x射线光子进入检测器后，在si（li）晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的较低平均能量ε是一定的（在低温下平均为3.8ev），而由一个x射线光子造成的空穴对的数目为n=△e/ε，因此，入射x射线光子的能量越高，n就越大。
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